產品介紹

抛光墊/吸附墊

拋光墊( First Polish Pad)

產品名稱 : 拋光墊( First Polish Pad)

產品型號 : SB 系列

產品說明

針對不同加工物件的特性，提供不同拋光精度與速度的拋光墊，可選用不同的拋光液搭配使用。
規格說明
產品編號 最大寬度 適用拋光產品
SB 660 1350 金屬、藍寶石晶圓、矽晶圓
SB 880 1350

SB系列 - 物理特性表
產品編號 厚度(mm) 密度(g/cm3) 硬度(Shore A) 壓縮率(%) 樣式
SB 660 1.6±0.05 0.52±0.05 85.5±5 4.80±0.5 素面 XY方格
SB 880 1.7±0.05 0.65±0.05 85.5±5 4.65±0.5

俯視圖 (SB 660)
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